北京直线导轨
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经实验分析表明,该实验装置的直线度误差与偏振角之间的直线拟合相关指数R2位于0.9995,切测量直线导轨的直线度误差范围不得低于0.5mm,构建的测量系统经标定后测量分辨力为亚微米级,测量不确定度达到1μm。此方法不仅实现较为简便,且可靠性较高,降低了导轨面误差对测量的影响,在此之上只许稍加改动就可实现二维直线度误差测量,测量精度与自准值相等,具有一定的理论研究意义与实用前景!
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